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[12p-N203-11] 大気開放型CVD法-Al2O3膜のアニールに伴う色変化
キーワード:アモルファスAl2O3、色度測定、大気開放型CVD
大気開放型CVD法を用いて、Al(acac)3を原料に製膜した時、多結晶Al2O3基板上に茶色の平滑なアモルファスAl2O3膜が作製できる。色の定量的な評価には一般に色度計が用いられ、L*u*v*表色系等を用いて色差等が比較される。L*u*v*表色系ではL*は明度、u*v*は白色照明光源の座標を原点として、物体の色度評価が可能となる。大気開放型CVD法により多結晶Al2O3基板上に作製したアモルファスAl2O3膜と、これを大気雰囲気下でアニールした試料について、色度評価を行った。