[13a-N304-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[13a-N304-11] 4端子シリコン・エサキダイオードの作製と低温特性評価

〇(M1)金原 涼伽¹、加藤 拓也¹、堀 匡寛^1,2、小野 行徳^1,2 (1.静大院工、2.静大電研)

キーワード：シリコン、エサキダイオード、フォノン