講演情報

Tweet

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[13p-S301-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

2021年9月13日(月) 13:00 〜 17:15 S301 (口頭)

神田一浩(兵庫県立大)、針谷達(豊橋技科大)

13:15 〜 13:30

[13p-S301-2] 有機ケイ素化合物の窒素マイクロ波プラズマ分解によるa-SiCN_x:H薄膜の作製と構造解析

〇高井翼¹、伊藤治彦¹、鈴木常生¹ (1.長岡技大院)

キーワード：プラズマCVD、水素化アモルファス炭化ケイ素