[22a-P01-1~4] 6.1 強誘電体薄膜

[22a-P01-1] 局所C-Vマッピングにおける主成分分析によるノイズ除去

〇平永 良臣¹、三村 和仙²、清水 荘雄²、舟窪 浩²、長 康雄¹ (1.東北大、2.東工大)

キーワード：強誘電体、プローブ顕微鏡、酸化ハフニウム

本講演では，主成分分析によるプローブ顕微鏡データのノイズ除去に焦点を当てつつ，局所C-Vマッピング法によるナノスケール強誘電分極反転評価について紹介する．