[22a-P02-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[22a-P02-7] アニール処理によるDLCの電気化学特性変化

〇(M2C)河上 瑛彦¹、長谷部 伸一¹、向山 義治¹、平栗 健二¹、大越 康晴¹ (1.東電大)

キーワード：電気化学、ダイヤモンドライクカーボン

ダイヤモンド状炭素（DLC: Diamond-like Carbon）膜は，sp²構造とsp³構造が混在する非晶質炭素膜の一つである．近年，ボロンドープダイヤモンド（BDD）をセンシングなどの電気化学分野に応用する研究が盛んにおこなわれている．BDDと比べDLCは容易に成膜できるという利点がある．そこで本研究では，アニール処理によるDLC膜の電気化学的特性変化の解明を目的として，PVD成膜によってDLCを作製し，DLCをアニール処理した後，Cyclic voltammetry測定（CV測定）を行った．