14:45 〜 15:00 △ [19p-Z13-6] Y2O3-HfO2強誘電体薄膜を搭載したMEMSユニモルフカンチレバーの作製と特性評価 〇海老原 凌1、吉田 慎哉1、志村 礼司郎2、船窪 浩2、田中 秀治1 (1.東北大工、2.東工大物工院)