10:00 〜 10:15 △ [17a-Z03-5] Ar/C4F8/SF6を用いたガス変調サイクルプロセスにおける活性種の挙動 〇(M1)吉江 泰斗1、三好 康史2、堤 隆嘉1、釘宮 克尚2、石川 健治1、堀 勝1 (1.名大、2.ソニーセミコンダクタソリューションズ)