14:00 〜 14:15 [19p-Z13-3] TiNバッファ層を用いたSi基板上へのAl1-xScxN薄膜のエピタキシャル成長 〇宮地 航平1、村瀬 幹生1、吉村 武1、藤村 紀文1 (1.阪府大工)