[16a-Z30-1~11] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

[16a-Z30-1] FeとAl源の気相供給による14cm長カーボンナノチューブフォレストの成長

〇杉目 恒志¹、佐藤 俊裕²、仲川 黎²、林 竜弘³、井上 翼³、野田 優² (1.早大理工総研、2.早大先進理工、3.静大工)

キーワード：カーボンナノチューブ、化学気相成長、触媒

コールドガス化学気相成長(CVD)法により、1.5 µm s⁻¹の平均成長速度と26時間の触媒寿命を実現することで、14cm長のカーボンナノチューブ(CNT)フォレストの成長技術を開発した。有機金属ガスの添加やガドリニウム添加触媒(Fe/Gd/Al₂O_x)の最適化を行い、CNTフォレストの成長に与える影響を調べた。