[16p-Z27-1~15] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16p-Z27-9] 230 nm深紫外光発生に向けた2層極性反転AlN導波路の設計と作製

〇本田 啓人¹、永田 拓実¹、市川 修平^1,2、藤原 康文¹、正直 花奈子³、三宅 秀人^3,4、上向井 正裕¹、谷川 智之¹、片山 竜二¹ (1.阪大院工、2.阪大電顕センター、3.三重大院工、4.三重大院地域イノベ)

キーワード：深紫外

新型コロナウィルスの流行にともない、深紫外光を用いた非接触な消毒・殺菌に注目が集まっている。我々は強い光学非線形性を有するAlNを用い、表面活性化接合技術により横型擬似位相整合（QPM）2層極性反転導波路を作製し、青色の第二高調波発生（SHG）を実証した。本発表では波長230 nmの横型QPM SHGデバイスを設計するとともに、スパッタ法を用いた極性制御技術により2層極性反転AlN薄膜を作製した。