[17a-Z15-1~7] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-Z15-4] He/CO混合ガスを用いたRFプラズマCVD法による水素フリーDLC膜の作製

〇針谷 達¹、大浦 曜¹、富永 凌也¹、滝川 浩史¹、鈴木 耕拓²、國次 真輔³ (1.豊橋技科大、2.若狭エネ研、3.岡山工技)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、アモルファスカーボン