[17a-Z27-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17a-Z27-1] アンモニアフリー高温有機金属気相成長法による高品質(10-13)半極性面AlNヘテロエピタキシャル成長

〇沈 旭強¹、児島 一聡¹ (1.産総研)

キーワード：窒化アルミニウム、半極性

我々は環境に優しい高温成長可能なアンモニアフリー高温有機金属気相成長法(AFHT-MOVPE)を用い、m面サファイア基板上に半極性面AlN薄膜成長と評価を行った。結果として、ツインフリー、高品質な単結晶半極性面（10-13）AlN薄膜の成長に成功した。