[18p-Z17-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

[18p-Z17-6] マイクロ放電ホローカソードプラズマを用いた真空紫外吸収分光用自己吸収光源の分光診断

〇竹田 圭吾¹、堤 隆嘉²、平松 美根男¹、堀 勝² (1.名城大、2.名古屋大)

キーワード：真空紫外吸収分光、原子状ラジカル、大気圧プラズマ