[18p-Z24-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[18p-Z24-8] SiNキャッピングしたガラス上InSb膜のRTAによる結晶化

〇阪本 弦太¹、島袋 明香¹、野口 隆¹、岡田 竜弥¹ (1.琉大工)

キーワード：インジウム化アンチモン、RTA、結晶化