[19a-Z07-1~11] 3.7 Laser processing

[19a-Z07-11] Laser Ablation of Si surface by nanosecond optical vortex laser pulse

〇Daisuke Nakamura¹, Miki Kawamoto¹, Tsubasa Fujimoto¹, Mitsuhiro Higashihata¹, Hiroshi Ikenoue¹, Toshitaka Wakayama², Atsushi Sunahara³, Takeshi Higashiguchi⁴ (1.Kyushu Univ., 2.Saitama Med. Univ., 3.Purdue Univ., 4.Utsunomiya Univ.)

Keywords:Optical Vortex, Microspherical crystal

光渦の偏光を実測評価した上で，Siウェハ表面に照射した後の照射痕を調査した．さらに，円環状強度分布をもつナノ秒パルスを照射した際のレーザー生成プラズマのダイナミクスを解析するため2次元輻射流体シミュレーションを行った．