[19a-Z07-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[19a-Z07-11] ナノ秒光渦レーザーによるSi表面のレーザーアブレーション

〇中村 大輔¹、川本 実季¹、藤本 翼¹、東畠 三洋¹、池上 浩¹、若山 俊隆²、砂原 淳³、東口 武史⁴ (1.九大シス情、2.埼玉医科大、3.パデュー大、4.宇都宮大)

キーワード：光渦、マイクロ結晶球

光渦の偏光を実測評価した上で，Siウェハ表面に照射した後の照射痕を調査した．さらに，円環状強度分布をもつナノ秒パルスを照射した際のレーザー生成プラズマのダイナミクスを解析するため2次元輻射流体シミュレーションを行った．