16:45 〜 17:00 [22p-A406-15] 粉体ターゲットプロセスによるFe, Ti混合傾斜機能性膜の作製 〇川崎 仁晴1、大島 多美子1、柳生 義人1、猪原 武士1、日比野 祐介1、佐竹 卓彦1,2、青木 振一2 (1.佐世保高専、2.崇城大)