10:00 〜 10:15 [20a-C101-5] 分子シミュレーションと深層学習による電子線リソグラフィのパターン形状予測システム 〇井上 文太1、平井 義彦2、安田 雅昭2 (1.阪府大院工、2.阪公大院工)