09:30 〜 11:30 [22a-P04-9] 斜入射スパッタリング法により作製したSnO2薄膜のガスセンシング特性 〇亀田 悠真1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大工、2.関東学院大材料表面研)