16:00 〜 18:00 [20p-P04-21] マイクロ波磁場による窒化ガリウム基板の急速アニーリング技術の開発と基板の特性評価 〇中村 考志1、西岡 将輝1、鄭 恵貞2、田中 敦之2、天野 浩2 (1.産総研、2.名大)