09:30 〜 11:30 [22a-P04-5] プラズマ支援ミストCVDによる3次元ナノ構造酸化亜鉛薄膜形成に向けたプラズマ中の液滴蒸発挙動の解析 〇竹中 弘祐1、都甲 将1、節原 裕一1 (1.阪大接合研)
15:15 〜 15:30 [22p-A406-9] 反応性プラズマプロセスを用いた高性能IGZO薄膜トランジスタの低温形成 〇竹中 弘祐1、林 祐仁1、都甲 将1、江部 明憲2、節原 裕一1 (1.阪大接合研、2.イー・エム・ディー)