11:00 〜 11:15 △ [22a-A202-8] ガスインジェクションパルスプラズマCVD法における導入ガスとDLC成膜速度の関係 〇大浦 曜1、長田 直人1、坂東 隆宏1、滝川 浩史1、針谷 達1、國次 真輔2、権田 英修3 (1.豊橋技科大、2.岡山工技、3.オーエスジー)