[20a-B204-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[20a-B204-6] 酸化物半導体薄膜を用いた室温近傍での水素ガスセンシング(１)；
Ptナノ粒子担持SnO₂薄膜による室温センシング

西河 秀平¹、柏木 誠¹、賈 軍軍²、小口 有希¹、中村 明³、〇重里 有三¹ (1.青学大理工、2.早大国際理工学セ、3.ミネベアミツミ（株）)

キーワード：室温水素ガスセンシング、白金担持酸化スズ薄膜、白金ナノ粒子

スパッタ法によりSnO₂を成膜し、その表面にPt薄膜のスパッタ成膜プロセスにおける薄膜成長初期過程の島状膜生成を応用して作製したPtナノ粒子を触媒として担持し、室温における300～900ppmの水素に対するガス検知特性とそのメカニズムを解析した。Ptナノ粒子を担持したすべてのサンプルで水素ガスに対して室温で応答を示し、Pt担持前のSnO₂膜を大気中400℃で後焼成することによって最も高いガス検知特性を得た。