2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[20a-C101-1~13] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

2022年9月20日(火) 09:00 〜 12:30 C101 (C101)

山本 治朗(日立)、谷口 淳(東理大)

12:00 〜 12:15

[20a-C101-12] モスアイ構造とマイクロ構造形成による付着性撥水フィルムの作製

〇(M1)荒井 樺月1、谷口 淳1、菅原 浩幸2 (1.東理大先工、2.ジオマテック)

キーワード:バラの花びら、付着性撥水、ナノインプリント

バラの花びらは、水滴に対する高い撥水性と付着性の両方の機能を持っており、液滴制御などへの応用が期待されている。その表面はマイクロとナノの階層構造から成るが、本研究ではナノ構造であるモスアイモールドの上にフォトリソグラフィを用いてマイクロ構造を作製し、その転写フィルムの濡れ性を調査した。この方法ではフォトマスクの設計を変更することで、微細構造のサイズやデザインを容易に変更することができる。