2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[20a-C202-1~11] 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2022年9月20日(火) 09:00 〜 12:00 C202 (C202)

鈴木 秀俊(宮崎大)、鳥越 和尚(SUMCO)

11:00 〜 11:15

[20a-C202-8] 垂直ブリッジマン成長時におけるβ型酸化ガリウムの転位密度解析

柿本 浩一1、高橋 勲2、富田 健稔2、鎌田 圭2、姚 永昭3、中野 智4、吉川 彰5 (1.東北大NICHe、2.(株)C&A、3.ファインセラミックスセンター、4.九大応力研、5.東北大金研)

キーワード:酸化ガリウム、シミュレーション、転位

β-Ga2O3結晶中の転位は、デバイス作成や特性の劣化の観点から制御する必要がある。本報告では、垂直ブリッジマン(VB)法を用いて、成長結晶中の転位密度分布を3次元非定常解析法により求めた。種結晶の方位は、[010], [-201], [-204], [001]の4種類に設定した。