[20p-A105-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [20p-A105-1] プラズマCVD/ALD実機に取り付ける一様性診断システムの開発研究

〇(M2)二宮 貴哉¹、比村 治彦¹、三瓶 明希夫¹、新元 美晴¹、稲垣 秦一郎¹ (1.京都工芸繊維大学)

キーワード：表面波プラズマ、ダブルプローブ、光学測定

PECVDにおけるプラズマのムラによる不均一成膜の問題をリアルタイムモニターによるFB制御で解決することを目標にしている。我々は１方向からのカメラ画像からプラズマ分布を再構成する新規の光学測定技術の検証実験を行う。製膜装置を模した真空装置内に３基のマイクロ波を電力源とした表面波プラズマを発生させる。このプラズマ分布をダブルプローブによる測定と新規の光学測定とで比較することにより新規測定の妥当性を検証する。