[20p-A202-1~19] 3.1 光学基礎・光学新領域（旧3.2「材料・機器光学」と統合）

△ [20p-A202-15] GaN結晶内転位の高速3次元計測を目指した球面収差補正の検討

〇三浦 祐樹¹、土屋 裕祐¹、小澤 祐市¹、上杉 祐貴¹、佐藤 俊一¹ (1.東北大多元研)

キーワード：イメージング、エアリービーム、ベッセルビーム

これまでに我々は、長焦点深度のベッセルビームによる深さ方向への一斉励起および自己湾曲性をもつエアリービームによる深さ情報の復元を原理とする、高速3次元イメージング手法を提案してきた。本手法をGaN結晶内の転位観察に適用する場合、GaNの高い屈折率に起因した球面収差の発生が課題であった。本講演では、励起側および検出側での球面収差補正の検討を行い、実際に3次元イメージングを行った結果について報告する。