16:45 〜 17:00 △ [20p-A202-15] GaN結晶内転位の高速3次元計測を目指した球面収差補正の検討 〇三浦 祐樹1、土屋 裕祐1、小澤 祐市1、上杉 祐貴1、佐藤 俊一1 (1.東北大多元研)