[20p-B201-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [20p-B201-3] 5×5µm領域内RGB集積型µLED用ナノコラム結晶の作製

〇高橋 昂司¹、吉村 賢哉¹、山田 純平²、富樫 理恵^1,2、野村 一郎^1,2、岸野 克巳² (1.上智大理工、2.上智大ナノテク)

キーワード：ナノコラム、µLED

本研究では異なる直径、周期のInGaN/GaNナノコラム結晶を5x5µm領域内でRGB発光となるよう集積させて配置した。これらのナノコラム結晶では活性層の下地となるGaNナノコラムをGaリッチにすることでコラムトップ角度をC面に近づけ、活性層内の高In組成部体積を増やすことで赤色発光の純色性を高めたと同時に短波長発光が確認された長周期ナノコラムを5x5µm領域内に配置することで作製した。