[20p-C202-1~8] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20p-C202-8] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(25)濃度10¹³/㎝³台の低温赤外吸収

〇井上 直久¹、奥田 修一¹、川又 修一¹ (1.大阪公立大放射線センター)

キーワード：シリコン結晶、炭素濃度、赤外吸収

我々はこれまでに10¹⁴/㎝³までの炭素濃度の赤外測定法を単結晶、多結晶、室温、低温について確立し、関係者に技術移転や開示してきた。また3x10¹³/㎝³の室温測定を報告し、IDL8x10¹³/㎝3を得た。今回10¹³/㎝³台の低温測定を検討した。妨害吸収を消去することにより約1-15x10¹³/㎝³の結果を得た。