[20p-C206-1~8] 15.1 バルク結晶成長

△ [20p-C206-7] 有機EL 蒸着に用いる新規高抵抗率ルテニウム基合金線材の開発

〇村上 力輝斗^1,2、鎌田 圭^2,3、梅津 健一⁴、糸井 椎香²、山口 大聡²、吉岡 隆⁶、及川 勝成⁵、城戸 淳二⁴、吉川 彰^1,2,3 (1.東北大金研、2.㈱C&A、3.東北大NICHe、4.山形大工、5.東北大工、6.㈱サンリック)

キーワード：抵抗加熱線、合金マイクロ引下げ法、真空蒸着法

有機エレクトロルミネッセンス（EL）薄膜の成膜に用いられる蒸着セルには、Ta線が一般に用いられるが、電気抵抗率の低さとその温度依存性が高いことによる温度制御性の低さが課題であった。本研究では、合金用マイクロ引下げ法（μ-PD）法によってRu-Mo-W合金線材を育成し、抵抗加熱線として、従来のTa線に比べ高い加熱効率と加熱制御性、高温耐久を示すことを実証した。