[20p-C306-1~9] 15.6 IV族系化合物（SiC）

△ [20p-C306-5] H+注入によるSiC PiNダイオード内積層欠陥拡張の抑制

〇(M1)渡邉 王雅¹、三井 俊樹¹、原田 俊太²、坂根 仁³、加藤 正史¹ (1.名工大、2.名大、3.住重アテックス)

キーワード：SiC