[21a-A102-1~7] 9.3 ナノエレクトロニクス

[21a-A102-4] 誘電泳動による金ナノ粒子配列形成時の電極間インピーダンス測定

浦江 哲也¹、島田 宏¹、〇水柿 義直¹ (1.電通大院情報理工)

キーワード：単一電子デバイス、ナノ粒子ランダム配列、マイクロコントローラー

我々は，誘電泳動法を用いて金ナノ粒子配列を電極間ナノギャップに形成し，それが単一電子素子として動作することを示してきた。誘電泳動による金ナノ粒子配列の形成過程には確率的な側面があり，配列形成に要する誘電泳動時間は一定ではない。この問題を解決するため，本研究では，誘電泳動中の電極間インピーダンスの大きさをリアルタイムで測定し，が設定基準値未満に低下した際に印加電圧をゼロにするシステムを構築した。