[21a-C306-1~10] 7.2 電子ビーム応用

[21a-C306-3] 超高速時間分解SEMを用いたデバイス電位の過渡応答イメージング

〇川崎 康平¹、江本 悠河¹、山本 祐揮¹、鄭 サムエル¹、嵐田 雄介¹、吉田 昭二¹、赤田 圭史¹、藤田 淳一¹ (1.筑波大数理)

キーワード：走査電子顕微鏡、時間分解測定、表面電位