[21a-P01-1~16] 6.2 カーボン系薄膜

[21a-P01-15] 非晶質金属への電気絶縁性DLCコーティング

〇桑山 創太¹、桒原 大樹²、安中 茂²、林 俊郎³、平栗 健二¹ (1.東京電機大学、2.株式会社仲代金属、3.エムスリー・コンサルティング)

キーワード：DLC、電気絶縁性、非晶質金属

現在、カーボンニュートラル目標から電子機器の省エネルギーへ向けた要求が高まり、基幹部品であるモータなどの小型軽量化および高機能化の開発需要が大きい。本研究では、モータの構成部品であるヨークに用いられている非晶質金属へDLC薄膜をコーティングし、ヨークの小型化、さらにはモータの小型化へ向けた基礎特性について評価した。