[22a-A202-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[22a-A202-7] サファイア基板上に作製した非晶質カーボン膜における膜厚とsp³割合の関係

〇村岡 祐治¹、金山 大志²、岳 強²、脇田 高徳¹、横谷 尚睦¹ (1.岡山大基礎研、2.岡山大院自然科学)

キーワード：非結晶カーボン膜、膜厚依存性、サファイア基板

本研究ではサファイア基板上の非晶質炭素膜についてsp³割合の膜厚依存性を調べた。その結果、膜厚により膜内のsp³量が変化していることが分かった。膜厚の増大とともに非晶質炭素膜のsp³量が減少する理由として、成膜時にアブレーションされた炭素粒子による熱的構造緩和が考えられる。詳細について、当日議論をする。