[22a-A202-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

△ [22a-A202-8] ガスインジェクションパルスプラズマCVD法における導入ガスとDLC成膜速度の関係

〇大浦 曜¹、長田 直人¹、坂東 隆宏¹、滝川 浩史¹、針谷 達¹、國次 真輔²、権田 英修³ (1.豊橋技科大、2.岡山工技、3.オーエスジー)

キーワード：DLC、ガスインジェクションパルスプラズマCVD法、高速成膜

非晶質炭素膜であるダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は，その硬さから切削工具の表面保護膜として利用される。本研究では，ガスインジェクションパルスプラズマCVD法におけるガス状態について，有限要素法による流体解析から分析し，ガス状態とDLC高速成膜の関係を明らかにする。Ar流量1.12 m/s条件下では，Ar流量0.28 m/s条件下より噴出時のガス流速が速く，ステージ付近まで流速を持ったガスが届いていた。