[22a-A406-1~5] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [22a-A406-5] MEMS 振動発電応用に向けた自己組織化エレクトレットの 電気特性に関する検討

〇(B)李 睿宸¹、杉本 澪貴²、川島 康介²、田中 有弥³、山根 大輔^1,2 (1.立命館大、2.立命館大院理工、3.群馬大院理工)

キーワード：MEMS、エレクトレット