[22a-B204-1~11] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

△ [22a-B204-10] 光学干渉非接触温度測定法(OICT)を基盤としたSiCウエハの高速熱処理時のリアルタイム温度測定技術の開発

〇Yu Jiawen¹、松口 康太郎¹、佐藤 拓磨¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広島大学)

キーワード：温度測定、高速熱処理プロセス

高速熱処理プロセスを自動化するためにはリアルタイム温度測定は必要不可欠である. 我々が独自に開発を進めている光学干渉非接触温度測定技術(OICT)は, ウエハの温度変化による反射率変化を解析することで, ウエハ内の過渡温度分布を高い時間と空間分解能で取得することができる. さらに, 画像処理とデータベースを用いた高速温度抽出プログラムを開発し，解析時間を数時間から数秒に短縮することに成功した. 本研究ではその高速温度抽出プログラムをOICT装置を含む大気圧プラズマジェット(TPJ)熱処理システムに実装し, リアルタイム温度測定とその精度の評価を行った.