11:30 〜 11:45 △ [22a-B204-10] 光学干渉非接触温度測定法(OICT)を基盤としたSiCウエハの高速熱処理時のリアルタイム温度測定技術の開発 〇Yu Jiawen1、松口 康太郎1、佐藤 拓磨1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広島大学)