[22p-B204-1~18] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[22p-B204-7] 超高圧アニールによるMgイオン注入p型GaNのルミネッセンス評価

〇嶋 紘平¹、櫻井 秀樹^2,3,4、石橋 章司⁵、上殿 明良⁶、Bockowski Michal^2,7、須田 淳^2,3、加地 徹²、秩父 重英¹ (1.東北大多元研、2.名大IMaSS、3.名大工、4.アルバック先進研、5.産総研CD-FMat、6.筑波大数物系、7.IHPP PAS)

キーワード：窒化ガリウム、Mgイオン注入、フォトルミネッセンス