[22p-C105-1~17] 1.6 Ultrasonics

△ [22p-C105-11] Propagation and Resonance Properties of Longitudinal Leaky SAW on Quartz Bonded Structures Consisting of Similar Materials with ScAlN piezoelectric thin film

〇Yudai Fujii¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹ (1.Yamanashi Univ.)

Keywords:Quartz, ScAlN, Similar material bonded Structures

近年，高速なLLSAWが注目されている．本研究グループでは，ScAlN薄膜を水晶支持基板と接合させた構造において低損失化等を理論的に明らかにした．また，著者らはオイラー角の異なるQz同種材料接合構造において低損失化等を理論的に明らかにしたが，比帯域幅が0.1%以下と狭い．本報告では，Qz同種材料接合上にScAlN圧電薄膜を装荷した構造上のLLSAW伝搬・共振特性を理論解析した結果について報告する．