[22p-P15-1~9] 13.8 光物性・発光デバイス

[22p-P15-1] Er:O共添加Siナノピラーからの室温フォトルミネッセンス計測

〇石井 智己¹、高橋 勇磨¹、内田 海成¹、圖師 拓海¹、佐藤 真一郎²、プラティ エンリコ³、品田 高宏⁴、谷井 孝至¹ (1.早大理工、2.量研、3.イタリア　CNR、4.東北大　CIES)

キーワード：Si ナノピラー、フォトルミネッセンス計測

Si中Erは内殻電子遷移に伴いシリカ系光ファイバの最低伝送波長である1.5μm帯の光子を放出するため、Siフォトニクスや量子通信への応用が期待されている。しかしながら、Si中のErからの室温発光強度は極めて低いことが課題となっている。そこで、私たちはSOI基板の表面近傍にErが注入されたナノピラーを形成し、このナノピラーによってフォトルミネッセンス計測強度を向上できるかを実験的に検証した。