[22p-P15-1~9] 13.8 Optical properties and light-emitting devices

[22p-P15-2] Study on Crystallinity of Sm³⁺ Ions Doped TiO₂ Thin Films to Improve Their Conductivity

〇Asuka Ishizawa¹, Mariko Murayama², Xinwei Zhao¹ (1.Tokyo Univ. of Sci., 2.Toyo Univ.)

Keywords:light emitting devices, rare earth, titanium oxide

酸化チタン(TiO₂)は通常絶縁体に近いため、電流注入発光(EL)は難しいと考えられてきた。その一方で、先行研究ではTiO₂は作製条件によって十分なキャリア濃度を持つことも分かってきている。本研究では、発光デバイスへの応用を目指しサマリウム(Sm)添加TiO₂(TiO₂:Sm)薄膜を作製し、金属酸化物の酸化ルテニウム(RuO₂)をショットキー電極に用い、TiO₂:Sm薄膜の結晶性と電気的特性の関連性を評価し、キャリア濃度の見積もりを行った。