2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[23a-C101-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2022年9月23日(金) 09:00 〜 12:15 C101 (C101)

鵜殿 治彦(茨城大)、立岡 浩一(静大)

09:45 〜 10:00

[23a-C101-4] 真空蒸着法により作製したBaSi2膜におけるクラックの低減および厚膜化の試み

西野 克志1、森 俊之輔1、山下 颯乃佳1、于 京芳1 (1.徳島大理工)

キーワード:BaSi2、真空蒸着法