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[23a-P06-9] スパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長(Ⅴ)
キーワード:スパッタ、ZnO、酸化亜鉛
我々は,UHVスパッタエピタキシー法を用いてオフ角の異なるサファイア基板上にZnO層の成長を行ってきた.α-Al2O3(0001)基板(オフ角:0.2 º,0.02 º )上に成長したZnO層のXRDパターンから,オフ角が0.2 ºにおいて優れた結晶性を有していることが解った.しかし,p型の伝導性を有したZnO層の実現には至っていない.そこで,Nドープによるp型化を目的に,反応ガスのArにN2を添加させてZnO層の成長を行ったのでその結果について検討した.