[22p-E105-1~18] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [22p-E105-8] アルゴン-酸素低気圧誘導結合プラズマのOHラジカルの振動温度・回転温度の診断

〇山下 雄也¹、伊達 修一¹、山岡 英彦¹、秋葉 拓也¹、澁谷 孝幸¹、岩永 敏秀¹、赤塚 洋² (1.都立産業技術研究センター、2.東工大研究院)

キーワード：発光分光計測、プロセスプラズマ、分光放射輝度校正

エッチング装置で生成したアルゴン-酸素(Ar-O₂)低気圧誘導結合プラズマのOHラジカルの振動温度T_vib・回転温度T_rotの，O₂分圧依存性を，A²Σ⁺→X²Π遷移の発光分光計測により診断した．積分球光源を分光放射輝度標準に用いることで，測光系の校正における量子化誤差が改善され，紫外域における計測が可能となった．O₂分圧0 - 3.23 %において，T_vibは O₂分圧増加に従い0.12から0.39 eVに増加した．T_rotは0.030 - 0.035 eVとほぼ一定であった．