[23p-E204-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[23p-E204-13] LaAlO₃ (110)基板上へのλ型Ti₃O₅薄膜の直接合成

〇吉松 公平^1,2、組頭 広志^1,2 (1.東北大多元研、2.東工大元素戦略)

キーワード：酸化チタン薄膜、パルスレーザ堆積法、λ型Ti3O5

準安定なλ型Ti3O5は、温度・光・圧力の外場刺激で相転移を示す。特に、可逆な光誘起相転移は書き込み可能な光記録媒体への応用が期待されている。準安定相なため、これまでλ型Ti3O5はナノサイズの多結晶体試料しか得られていない。本研究では、速度論的平衡の強い薄膜を用いてLaAlO3 (110)基板上に直接高品質なλ型Ti3O5薄膜の合成に成功した。