2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス/配線/集積化技術

[23p-E307-1~20] 13.5 デバイス/配線/集積化技術

2022年3月23日(水) 13:30 〜 19:00 E307 (E307)

遠藤 和彦(産総研)、堀 匡寛(静大)

13:30 〜 13:45

[23p-E307-1] 【授賞式】第13回シリコンテクノロジー分科会論文賞・研究奨励賞

〇遠藤 和彦1,2 (1.シリコンテクノロジー分科会、2.産総研)

キーワード:シリコンテクノロジー