[23p-F308-1~14] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[23p-F308-9] Si基板上BaSi₂近接蒸着膜の実効キャリア寿命

〇原 康祐¹、高垣 僚太¹、有元 圭介¹、宇佐美 徳隆² (1.山梨大クリスタル研、2.名大院工)

キーワード：バリウムシリサイド、キャリア寿命、光伝導

本研究では、近接蒸着法で作製したBaSi₂薄膜の実効キャリア寿命を、定常光照射下における光伝導度測定により決定することを試みた。Si基板上に700–1000 °Cで成膜した試料を評価した結果、μ-PCDの時定数と同程度のキャリア寿命が得られ、測定の妥当性を確認できた。また、最大で6.2 μsの長いキャリア寿命を確認した。